中國科學院微電子研究所EDI超純水項目成套設備工程

中國科學院微電子研究所是我國第一個電子與信息科學技術的綜合型研究所。經過五十多年的發展，電子所現有在職職工863人，其中科技人員579人，包括中國科學院院士1人，研究員65人、副研究員、高級工程師147人，“國家杰出青年科學基金”獲得者2人，中科院“百人計劃”入選者7人，并已形成了微波成像雷達及其應用技術、微波器件與技術、高功率氣體激光技術、傳感器與微系統技術和空間信息處理與應用領域五個優勢學科以及探地雷達和FPGA技術兩個新技術增長點。